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半导体行业术语缩写词典总结-JKL_半导体词汇缩写表

作为半导体行业新人来说,最痛苦的莫过于各种缩写词术语了,有的缩写词一样但是会有不同的解释。


这里作者给大家整理了部分术语词典,后面会按照更新顺序一一分享出来。


废话不多说,直接开始,如有遗漏,欢迎大家在评论区或者私信补充,作者会在后面单开一篇来补充:




10


J-开头缩写

缩写

英文全称

中文解释

技术说明

JBS

Junction Barrier Schottky

结势垒肖特基二极管

复合结构(PN结+肖特基),反向耐压>200V,开关速度<5ns(用于电源整流)

JEDEC

Joint Electron Device Engineering Council

电子器件工程联合委员会

制定DRAM/HBM等存储标准(如HBM3带宽>819GB/s)

JFET

Junction Field-Effect Transistor

结型场效应晶体管

电压控制沟道,抗辐照>1Mrad,用于航天级芯片

JMP

Statistical Discovery Software

统计分析软件

SPC良率分析工具(Cp/Cpk计算精度>99%)

JTE

Junction Termination Extension

结终端延伸

功率器件边缘钝化技术(如斜角/场板),击穿电压提升>30%






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K-开头缩写


缩写

英文全称

中文解释

技术说明

KGD

Known Good Die

已知合格芯片

晶圆测试后确认良品,封装前良率>99.9%

KOH

Potassium Hydroxide

氢氧化钾

硅各向异性湿法刻蚀剂(111)/(100)面刻蚀速率比>400:1,用于MEMS结构

KLA

KLA-Tencor Corporation

缺陷检测设备商

行业标准检测机台(如eSL10TM),EUV时代灵敏度<0.5nm

KPR

Kodak Photo Resist

柯达光刻胶

早期光刻胶(已淘汰),分辨率>1μm

KSR

Key Status Report

关键生产报表

统计各机台晶圆移动量(Move),良率追踪核心指标

KT

Knowledge Transfer

技术转移

工艺开发到量产交接流程(文档>500页,培训>100小时)

KTO

KrF Thin Oxide

氟化氪薄氧化层

248nm光刻配套氧化层(厚度<20nm),已被High-k替代




12



L-开头缩写


缩写

英文全称

中文解释

技术说明

LAM

Laser Ablation Marking

激光打标

晶圆ID雕刻,线宽<10μm,深度<5μm

LAPP

Local Area Plasma Processing

局部区域等离子体处理

选择性刻蚀/沉积,位置精度±1μm

LASER

Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation

激光

DUV/EUV光源核心,波长精度±0.01pm

Latch-up

PNPN寄生结构触发

闩锁效应

CMOS工艺风险,抗闩锁电流>200mA

LBC

Low Bit Cost

低位成本

3D NAND核心目标(存储密度>1Tb/cm^2)

LCD

Liquid Crystal Display

液晶显示

TFT背板工艺,开口率>80%

LDD

Lightly Doped Drain

轻掺杂漏极

MOSFET源漏梯度掺杂,降低热载流子效应

LDMOS

Laterally Diffused MOS

横向扩散MOS

射频功率器件,耐压>100V,增益>20dB

LELE

Litho-Etch-Litho-Etch

双曝光刻蚀

双重图形化技术,套刻误差<1.5nm

LER

Line Edge Roughness

线边缘粗糙度

光刻关键指标,EUV要求<1.2nm

LF

Low Frequency

低频

设备控制信号(如Pump变频范围1-100Hz)

LGA

Land Grid Array

栅格阵列封装

触点间距<0.5mm,插拔力<30N

LIGA

Lithographie, Galvanoformung, Abformung

LIGA微加工技术

X光光刻+电铸+注塑,深宽比>100:1

LK

Low-k Dielectric

低介电常数材料

SiCOH(k=2.7),机械强度>2GPa

LLE

Low Light Exposure

低光曝光

光刻胶敏化技术,提升EUV量子效率

LOCOS

Local Oxidation of Silicon

硅局部氧化

隔离技术(已被STI替代),鸟嘴效应<0.1μm

LPC

Low Pressure Cleaning

低压清洗

真空环境下超纯水清洗,颗粒去除率>99%

LPCVD

Low Pressure CVD

低压化学气相沉积

多晶硅/氮化硅沉积,温度600°C,均匀性>98%

LPD

Light Point Defect

光点缺陷

晶圆表面颗粒/划痕,检测灵敏度>30nm

LPM

Lots Per Month

每月批次量

产能指标(300mm厂>10,000片/月)

LPT

Low Pressure Test

低压测试

封装气密性检测(泄漏率<5×10 mbar·L/s)

LPV

Low Pressure Vessel

低压反应腔

真空度<10 Torr,用于薄膜沉积

LRP

Long Range Planning

长期规划

产能扩张/技术路线(如3nm节点量产时间)

LSF

Laser Spike Annealing

激光尖峰退火

毫秒级退火(>1300℃),激活掺杂原子

LSM

Laser Scanning Microscopy

激光扫描显微镜

失效分析定位热点(分辨率±0.5μm)

LSP

Light Scattering Particle

光散射颗粒

洁净室监控指标(>28nm颗粒<1个/L)

LST

Laser Scattering Tomography

激光散射层析

检测晶圆内部缺陷(COP<10个/片)

LSV

Linear Sweep Voltammetry

线性扫描伏安法

电镀液成分分析(金属离子浓度±0.1ppm)

LSW

Lightly Doped Source/Drain

轻掺杂源漏

同LDD,抑制短沟道效应

LTO

Low Temperature Oxide

低温氧化层

PECVD沉积SiO(400°C),台阶覆盖率>50%

LUMO

Lowest Unoccupied Molecular Orbital

最低未占分子轨道

有机半导体能带参数

LV

Low Voltage

低电压

核心器件工作电压<1V(3nm节点)

LVM

Local Vibration Mode

局域振动模式

红外光谱分析晶格缺陷(如氧沉淀)

LVS

Layout vs. Schematic

版图与原理图一致性检查

芯片设计验证必选项

LWI

Local Wafer Inspection

局部晶圆检测

抽样检测关键区域(如芯片边缘)

LWR

Line Width Roughness

线宽粗糙度

同LER,光刻图形质量核心指标

LPC

Low Pressure Chamber

低压反应腔

同LPV,真空沉积/刻蚀核心设备

LMC

Laser-Modified Chemistry

激光改性化学

EUV光刻胶分子级调控,灵敏度提升3倍

LDD

Low Dimensional Device

低维器件

纳米线/量子点器件(如GAA晶体管)

LPD

Low Power Device

低功耗器件

待机电流<1nA(IoT芯片要求)

LPT

Low Power Test

低功耗测试

芯片待机电流检测(精度±1pA)

LSC

Large Scale Cluster

大型集群设备

多反应腔集成系统(>6腔),产能提升40%

LSE

Least Squares Estimation

最小二乘估计

SPC数据分析核心算法

LSP

Localized Surface Plasmon

局域表面等离子体

光学增强结构(用于EUV光刻胶)

LTS

Long Term Stability

长期稳定性

设备连续运行>30天无故障

LVM

Linear Voltage Modulator

线性电压调制器

电源管理模块,纹波<1mV

LVS

Low Voltage Stress

低电压应力

可靠性测试(模拟电池供电场景)

LWV

Light Wave Varnish

光波清漆

光刻胶表面涂层,减少驻波效应


原创声明: 本文综合公开资料梳理,转载需授权。



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